材料分析

在洁净室（ISO 14644 第 6 级）中，我们使用一套将光学 3D 显微镜与轮廓及粗糙度测量、以及化学表面分析（即激光诱导等离子体光谱，LIPS）有效结合的系统，用于过程伴随分析和质量控制。

此外，我们还与合作伙伴共同开展以下材料工程与材料科学检测：

• 利用 SEM/FIB 研究表面和涂层的形貌
• 利用选区电子衍射（SAED）对纳米晶结构进行 TEM 分析
• 利用 EDX 测定化学成分
• 涂层的附着力、抗划伤性和抗弯强度
• 涂层的硬度和弹性模量
• 通过电导率测量和阻抗谱对功能涂层进行电学表征
• 表面能（润湿性）测定

3D 扫描：带有 H2 敏感功能层的 MEMS 结构、
LIPS 激光光斑及粗糙度测量截线

SEM 图像：抗菌 Cu-DLC 多层膜（FIB 截面上的 EDX 线扫描）